3D光學非接觸輪廓粗糙度儀
簡要描述:
瑞士TRIMOS TR-scan3D光(guang)學非接觸輪(lun)廓(kuo)粗糙度儀具有完善的分析功能模塊,對其表(biao)面形貌進行(xing)輪(lun)廓(kuo)、面積、體(ti)積、粗糙度、截(jie)面等測量。
產品時間:2020-06-30
TR-scan 3D光學非接觸輪廓粗糙度儀產品介紹:
Trimos TRscan非(fei)接觸式刀(dao)具(ju)(ju)微(wei)觀形(xing)貌測(ce)(ce)量儀,全自動(dong)共(gong)(gong)焦(jiao)(jiao)三維(wei)測(ce)(ce)量。于(yu)刀(dao)具(ju)(ju)制造工業,根據多(duo)點(dian)譜線共(gong)(gong)焦(jiao)(jiao),一次入射200束光(guang)到工件表(biao)面(mian),在每束光(guang)路上自動(dong)聚焦(jiao)(jiao),快速獲(huo)得(de)刀(dao)具(ju)(ju)表(biao)面(mian)三維(wei)形(xing)貌,采用此次多(duo)點(dian)譜線共(gong)(gong)焦(jiao)(jiao)傳感器和圖像處理系統,可以對各種復(fu)雜的(de)刀(dao)刃及(ji)其模具(ju)(ju)進行準確的(de)測(ce)(ce)量,具(ju)(ju)有完(wan)善(shan)的(de)分(fen)析(xi)功(gong)能模塊,對其表(biao)面(mian)形(xing)貌進行輪廓、面(mian)積、體積、粗糙(cao)度、截面(mian)等測(ce)(ce)量。
TR-scan 3D光學非接觸輪廓粗糙度儀特點:
-
強大的(de)多點共(gong)焦技術,zui準確的(de)測(ce)量出表面形貌數據(角度、半徑、輪廓、粗糙度)
-
通過光學方式測(ce)量Ra、Rq、Rz等粗糙度參數
-
測(ce)量(liang)速度快(kuai),可(ke)整合成(cheng)一(yi)個高效的(de)在線測(ce)量(liang)系統
-
適用于陡峭的斜(xie)面,爬坡角度高(gao)達85度
-
垂直分辨率(lv)高達30nm
-
TRSCAN是(shi)*可同時獲得表面形貌(mao)和(he)真(zhen)實(shi)顏色(se)信息的3D測(ce)量設(she)備(bei),測(ce)量更加精確靈活
-
通過腳本自動測量(liang)(liang),更適用(yong)于批量(liang)(liang)測量(liang)(liang),并生成圖形(xing)或數字報告
-
粗糙度(du)和輪廓(kuo)測量符(fu)合*EN/ISO4287標(biao)準
-
可用于(yu)選定(ding)區(qu)域的面積及(ji)體積計算
-
可(ke)選配轉臺,實現三維(wei)掃面
-
可用于(yu)復雜(za)幾何外(wai)形的形狀(zhuang)分析,可測量角(jiao)度、半徑等表面(mian)特征
技術參數:
工作臺(tai)移動(dong)范圍X | 100mm | ||
工作(zuo)臺移(yi)動范圍Y | 固定式 | ||
工作(zuo)臺移動范圍Z | 240mm | ||
XYZ軸zui小(xiao)位移量 | 0.1μm | ||
XYZ軸定位精度 | 1μm | ||
XY軸導軌直線度 | 1.5μm | ||
工件zui大重(zhong)量 | 20kg | ||
測量原理 | 非接觸式多點譜(pu)線共焦(jiao)傳(chuan)感器 | ||
光源 | 白(bai)色LED共軸光(guang),高強光(guang),數(shu)字可控 | ||
色譜共焦傳感器 | CLS0.2 | CLS1 | CLS4 |
線寬 | 0.96mm | 1.92mm | 4.8mm |
工作距離 | 5.3mm | 18.2mm | 39mm |
光斑間隙 | 5μm | 10μm | 25μm |
光(guang)斑大小 | 2μm | 4μm | 10μm |
爬坡坡度 | ±44deg | ±33deg | ±20deg |
測量范圍 | 200μm | 950μm | 4mm |
軸向(xiang)分(fen)辨(bian)率 | 30nm | 120nm | 500nm |
精(jing)度 | 90nm | 360nm | 1.5μm |
厚度zui小分辨(bian)率 | 15μm | 70μm | 300μm |
測量(liang)zui大厚(hou)度 | 300μm | 1.5mm | 6mm |