TR-scan非接觸式微觀形貌測量儀
簡要描述：
瑞士 TRIMOS TR-scan非接觸式微觀形貌測(ce)量儀 ，全自動共(gong)焦三維測(ce)量。具有完善的分析功能(neng)模塊，對其表面形貌進行輪廓、面積、體積、粗糙度、截面等(deng)測(ce)量。
產(chan)品時(shi)間(jian)：2020-03-12
TR-scan非接觸式微觀形貌測量儀
Trimos TRscan非接觸式刀具微觀形貌測量儀，全自動共焦三維測量。于刀具制造工業，根據多點譜線共焦，一次入射200束光到工件表面，在每束光路上自動聚焦，快速獲得刀具表面三維形貌，采用此次多點譜線共焦傳感器和圖像處理系統，可以對各種復雜的刀刃及其模具進行準確的測量，具有完善的分析功能模塊，對其表面形貌進行輪廓、面積、體積、粗糙度、截面等(deng)測量。
TR-scan非接觸式微觀形貌測量儀主要(yao)特點：
強大的多點共(gong)焦技(ji)術，zui準確的測量(liang)出表面(mian)形貌數據（角(jiao)度、半徑、輪(lun)廓、粗糙度）
通(tong)過光學方(fang)式測量Ra、Rq、Rz等粗糙度參數
測量(liang)速度快，可(ke)整合成一個高效的在線測量(liang)系統
適用(yong)于陡峭(qiao)的斜(xie)面，爬坡(po)角度高達85度
垂直(zhi)分辨(bian)率(lv)高(gao)達30nm
TRSCAN是*可同(tong)時獲得表面形貌和(he)真實顏色信息的3D測量設備，測量更(geng)加精確靈活
通過腳本自動測(ce)量，更(geng)適用于批量測(ce)量，并生成(cheng)圖(tu)形或數字報告
粗(cu)糙度和輪(lun)廓測(ce)量符合*EN/ISO4287標(biao)準(zhun)
可(ke)用于(yu)選定區域(yu)的面積及體(ti)積計(ji)算
可選配轉臺(tai)，實現(xian)三維掃面
可用于(yu)復雜幾(ji)何外形的形狀分(fen)析，可測(ce)量角度、半徑(jing)等表面(mian)特征(zheng)
技術參數：
| 工作臺移動范圍X | 100mm | ||
| 工作(zuo)臺(tai)移動范圍Y | 固定式(shi) | ||
| 工作臺(tai)移動范圍Z | 240mm | ||
| XYZ軸zui小位移量(liang) | 0.1μm | ||
| XYZ軸定位精度 | 1μm | ||
| XY軸(zhou)導(dao)軌(gui)直線度 | 1.5μm | ||
| 工件zui大重量(liang) | 20kg | ||
| 測量原(yuan)理 | 非(fei)接(jie)觸式多點(dian)譜(pu)線共焦傳感器 | ||
| 光(guang)源 | 白色LED共軸光，高強光，數字可控(kong) | ||
| 色譜(pu)共(gong)焦傳感器 | CLS0.2 | CLS1 | CLS4 |
| 線寬 | 0.96mm | 1.92mm | 4.8mm |
| 工作距離 | 5.3mm | 18.2mm | 39mm |
| 光斑間(jian)隙 | 5μm | 10μm | 25μm |
| 光斑(ban)大(da)小 | 2μm | 4μm | 10μm |
| 爬坡(po)坡(po)度 | ±44deg | ±33deg | ±20deg |
| 測(ce)量范(fan)圍(wei) | 200μm | 950μm | 4mm |
| 軸向分辨率(lv) | 30nm | 120nm | 500nm |
| 精度 | 90nm | 360nm | 1.5μm |
| 厚度zui小分辨率(lv) | 15μm | 70μm | 300μm |
| 測量zui大厚(hou)度 | 300μm | 1.5mm | 6mm |