Dantsin-TRsacn非接觸式微觀形貌測量
簡要描述:
Dantsin-TRsacn非(fei)接觸式微(wei)觀形(xing)貌測(ce)量(liang)(liang) 瑞士丹青公(gong)司是長度類計量(liang)(liang)檢(jian)測(ce)技術供應(ying)商,我們致力于(yu)提高工(gong)業(ye)產品(pin)的質量(liang)(liang)品(pin)質!
產品(pin)時間:2020-03-12
TR-scan非接觸式微觀形貌測量儀
Trimos TRscan非接觸式刀具微觀形貌測量儀,全自動共焦三維測量。于刀具制造工業,根據多點譜線共焦,一次入射200束光到工件表面,在每束光路上自動聚焦,快速獲得刀具表面三維形貌,采用此次多點譜線共焦傳感器和圖像處理系統,可以對各種復雜的刀刃及其模具進行準確的測量,具有完善的分析功能模塊,對其表面形貌進行輪廓、面積(ji)、體積、粗糙度、截(jie)面等測量。
TR-scan非接觸式微觀形貌測量儀主要特點:
強大的多點共焦技(ji)術,zui準確的測量(liang)出表(biao)面(mian)形貌(mao)數據(角度、半徑、輪廓、粗糙度)
通過光(guang)學方式測量Ra、Rq、Rz等粗糙度參(can)數
測(ce)量速度(du)快,可(ke)整合(he)成一個(ge)高效的在線測(ce)量系統(tong)
適用(yong)于陡峭的斜面,爬(pa)坡角度(du)高達85度(du)
垂直分(fen)辨率高達30nm
TRSCAN是(shi)*可同時獲得表面形貌和(he)真實顏色信息的(de)3D測(ce)(ce)量設(she)備,測(ce)(ce)量更加精確靈活
通過腳本自動測量(liang)(liang),更適用于批量(liang)(liang)測量(liang)(liang),并(bing)生成圖形(xing)或數字報告
粗(cu)糙度和輪廓測(ce)量符合*EN/ISO4287標(biao)準
可用于選定(ding)區域的面(mian)積及體積計算(suan)
可選(xuan)配(pei)轉臺,實現(xian)三(san)維掃面
可(ke)用于(yu)復(fu)雜幾何外形(xing)的(de)形(xing)狀(zhuang)分析,可(ke)測量角度(du)、半徑等表面特(te)征
技術(shu)參數(shu):
工作(zuo)臺移(yi)動范圍X | 100mm | ||
工作臺移動范(fan)圍Y | 固定式 | ||
工作臺移動(dong)范(fan)圍Z | 240mm | ||
XYZ軸zui小位移量(liang) | 0.1μm | ||
XYZ軸定位(wei)精度 | 1μm | ||
XY軸導軌直線度 | 1.5μm | ||
工件(jian)zui大重(zhong)量 | 20kg | ||
測量(liang)原理 | 非接觸式多點(dian)譜(pu)線共焦傳感器 | ||
光源 | 白色LED共(gong)軸光,高(gao)強光,數字可控(kong) | ||
色譜共焦傳感器 | CLS0.2 | CLS1 | CLS4 |
線寬(kuan) | 0.96mm | 1.92mm | 4.8mm |
工作(zuo)距離(li) | 5.3mm | 18.2mm | 39mm |
光(guang)斑間隙 | 5μm | 10μm | 25μm |
光斑大小 | 2μm | 4μm | 10μm |
爬坡坡度(du) | ±44deg | ±33deg | ±20deg |
測量范圍 | 200μm | 950μm | 4mm |
軸(zhou)向分辨率 | 30nm | 120nm | 500nm |
精度 | 90nm | 360nm | 1.5μm |
厚度zui小分辨率(lv) | 15μm | 70μm | 300μm |
測量zui大厚度(du) | 300μm | 1.5mm | 6mm |